1.1 微电子技术和集成电路的发展历程

1.1.1 微电子技术与半导体集成电路

微电子技术是利用微细加工技术，基于固体物理、器件物理和电子学理论和方法，在半导体材料上实现微小型固体电子器件和集成电路的一门技术。其核心是半导体集成电路及其相关技术。

集成电路包括半导体集成电路和混合集成电路两类。

半导体集成电路是用半导体工艺技术将电子电路的元件（电阻、电容、电感等）和器件（晶体管、传感器等）在同一半导体材料上“不可分割地”制造完成，并互连在一起，形成完整的有独立功能的电路和系统。

混合集成电路是将不同的半导体集成电路和分立电子元器件通过混合集成电路工艺和微细加工方法，将它们分别固化到同一基板（陶瓷材料、半导体材料等）上，用互连的方式将它们集成为完整的有独立功能的电路和系统。

本书主要介绍半导体集成电路的理论基础、制造工艺、元件和器件结构与原理、设计方法等相关知识和技术。