1 总则

20世纪70年代初，我国集成电路微细加工技术从无到有，集成电路生产企业纷纷上马，20世纪80年代初开始建设大规模集成电路生产线，并得到了较快发展。集成电路生产设备多数为微细加工设备，对储存、搬运、安装、动力配置、工艺环境控制的要求都有别于通用设备和其他专用设备。设备的安装工程质量直接影响集成电路产品的质量和产量，进而影响电子整机的质量和使用寿命。同样一台设备，安装人员技术高，安装调试得好，生产出来的产品废品率就小，产品性能好，用到整机上整机质量也好。影响安装质量的因素包括施工企业的技术水平和管理水平、施工人员技术水平、施工环境、施工方法和检测水平等。所以，为了规范微电子生产设备安装工程市场秩序，保证微电子设备安装质量，提高生产效率、经济效益和社会效益，促进技术进步和电子工业的发展，制定本规范。根据多年来设备使用单位、设备生产单位、设备安装单位所掌握的安装技术和经验制定的本规范将会达到此目的。

微电子技术是指设计、制造和使用微小型电子元件和集成电路的新型技术，是20世纪下半叶才发展起来的。其核心和代表是集成电路技术。微电子生产设备是指制造集成电路及半导体分立器件的工艺设备，本规范是按此范围制定的。

微电子生产设备是按生产流程布置，其位置由工艺决定，不能任意更改，故规定应按批准的设计图纸施工，修改设计应有设计单位的变更通知。

本条所指的法定计量检定机构是指质量技术监督部门依法设置或者授权建立并经质量技术监督部门组织考核合格的计量检定机构。